課程資訊
課程名稱
微奈米系統設計
MICRO AND NANO SYSTEMS DESIGN 
開課學期
97-2 
授課對象
生物資源暨農學院  生物機電工程學系  
授課教師
盧彥文 
課號
BME5914 
課程識別碼
631 U4660 
班次
 
學分
全/半年
半年 
必/選修
選修 
上課時間
星期二6,7,8(13:20~16:20) 
上課地點
電電實驗室 
備註
總人數上限:20人 
Ceiba 課程網頁
http://ceiba.ntu.edu.tw/972MicroNanoSystems 
課程簡介影片
 
核心能力關聯
核心能力與課程規劃關聯圖
課程大綱
為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
課程概述

本課程主要介紹有關微機電 (MEMS) 與奈米機電系統 (NEMS)的基本原理及應用技術,同時著重以整合系統分析之基本訓練。課程中將以實用的觀點探討目前實用的相關工業產品,包含壓力感測器 (pressure sensor, Motolora)、投影機 (micromirror, Texas Instrument)、加速器 (i-Phone, Analog Device) 、通訊開關 (RF switch)等課題。 

課程目標
期待學生能有對微奈米系統的認知,
啟發學生從事此專長的興趣,
期待訓練學生能成為從事IC及微奈米系統行業的就業人才。 
課程要求
 
預期每週課後學習時數
 
Office Hours
 
指定閱讀
 
參考書目
S.D. Senturia, Microsystem design, Kluwer Academic Pblishers, 2003 
評量方式
(僅供參考)
 
No.
項目
百分比
說明
1. 
homework 
40% 
 
2. 
midterm 
30% 
 
3. 
project 
30% 
 
 
課程進度
週次
日期
單元主題
第0週
02/15/09  Course Information 
第3週
03/07/09  Introduction, Scaling 
第4週
03/14/09  Lumped Modeling  
第5週
03/21/09  Mechanics  
第6週
03/28/09  MUMPs 
第8週
04/14/09  comb-drive 
第8週
04/11/09  Electrostatis Actuator 
第9週
04/18/09  Capacitive Accelerometer 
第10週
04/25/09  DMD